基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析

庞建伟; 闫鹏

doi:10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析

庞建伟, 闫鹏

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庞建伟, 闫鹏. 基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析[J]. 机器人, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

引用本文:

庞建伟, 闫鹏. 基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析[J]. 机器人, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

PANG Jianwei, YAN Peng. Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage[J]. ROBOT, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

Citation:

PANG Jianwei, YAN Peng. Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage[J]. ROBOT, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

庞建伟, 闫鹏. 基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析[J]. 机器人, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

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庞建伟, 闫鹏. 基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析[J]. 机器人, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

PANG Jianwei, YAN Peng. Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage[J]. ROBOT, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

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PANG Jianwei, YAN Peng. Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage[J]. ROBOT, 2017, 39(5): 595-602. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595

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