基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法

吴明月; 刘延杰; 蔡鹤皋

doi:10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

吴明月, 刘延杰, 蔡鹤皋

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吴明月, 刘延杰, 蔡鹤皋. 基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法[J]. 机器人, 2014, 36(4): 446-454. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

引用本文:

吴明月, 刘延杰, 蔡鹤皋. 基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法[J]. 机器人, 2014, 36(4): 446-454. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

WU Mingyue, LIU Yanjie, CAI Hegao. Method of Vibration Suppression of the End-effector of Wafer Handling Robot Based on Optimal S-curve Profile[J]. ROBOT, 2014, 36(4): 446-454. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

Citation:

吴明月, 刘延杰, 蔡鹤皋. 基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法[J]. 机器人, 2014, 36(4): 446-454. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

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吴明月, 刘延杰, 蔡鹤皋. 基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法[J]. 机器人, 2014, 36(4): 446-454. doi: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446

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