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电容式湿度传感器
王兵
,
张茂雍
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这里介绍一种高精度高响应性的湿度传感器,它已在食品工业、农业及其它许多部门得到广泛的应用,在制造上也有许多优点便于大批生产.图1是湿度传感器的结构图,在绝缘基板1上有一对电极2,上面是绝缘层3,再上面是氧化层4.绝缘基板1采用耐热性良好的陶瓷,上面有电极对2,电极对2做成梳子形,它具有形状小而容量大的特点.
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