机器人
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硅片处理预对准系统的研究
荣伟彬1, 宋亦旭2, 乔遂龙1, 孙立宁1, 赵雁南2, 李春江1
1. 哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江 哈尔滨 150080;
2. 清华大学计算机科学与技术系,北京 100084
Research on Wafer Pre-alignment System
RONG Wei-bin1, SONG Yi-xu2, QIAO Sui-long1, SUN Li-ning1, ZHAO Yannan2, LI Chun-jiang1
1. Robotics Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080, China;
2. Department of Computer Science and Technology, Tsinghua University, Beijing 100084, China
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