一种压电纳米马达的运动动力学分析
段智勇, 王庆康, 费继承
上海交通大学微/纳米科学技术研究院，上海，200030
Dynamic Analysis on a Piezoelectric Nanomotor
DUAN Zhi-yong, WANG Qing-kang, FEI Ji-cheng
Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China
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引用本文:
段智勇, 王庆康, 费继承. 一种压电纳米马达的运动动力学分析[J]. 机器人, 2004, 26(4): 306-309..
摘要 利用压电晶体的逆压电效应，设计并制作了一种纳米精度步进马达．将实际结构简化为理论模型，从理论上对马达的动态特性进行分析，获得了纳米马达步进运动的一些参数判据，并对马达的步进运动特征进行了软件模拟．
关键词 ：
纳米马达 ,
压电陶瓷 ,
执行器
Abstract ：Based on the converse piezoelectric effect of piezoelectric crystal, a nanometer precision stepper motor is designed and fabricated. The real structure is simplified into a theoretical model, and the dynamic characteristics of the motor are theoretically analyzed. Some parameter criterions of the motor are obtained, and the movement characteristics of the motor are simulated with software.
Key words ：
nanomotor
piezoelectric ceramics
actuator
收稿日期: 2003-12-28
作者简介 : 段智勇（1974-），男，博士生．研究领域：压电陶瓷执行器，高精度定位控制系统，压电纳米马达的研究．
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