机器人  2014, Vol. 36 Issue (4): 446-454    DOI: 10.13973/j.cnki.robot.2014.0446
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基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法
吴明月1,2, 刘延杰1,2, 蔡鹤皋1,2
1. 哈尔滨工业大学, 黑龙江 哈尔滨 150001;
2. 机器人技术及系统国家重点实验室, 黑龙江 哈尔滨 150080
Method of Vibration Suppression of the End-effector of Wafer Handling Robot Based on Optimal S-curve Profile
WU Mingyue1,2, LIU Yanjie1,2, CAI Hegao1,2
1. Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
2. State Key Laboratory of Robotics and System, Harbin 150080, China
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