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非接触式高分辨率的图象传感器
青木健一
,
骆远福
,
李晓平
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测定微高作为图象传感器应用的例子,现介绍使用面阵传感器的测定器.(1)计测原理它是使用光切断法来测量表面高度的.原理是,当狭缝光倾斜地照射在测定面上时能得到光和被测面的交线,它与在同处切断被测物所得曲线相同,所以若从反射方向观察该交线就可看到被测面的凹凸.
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