摘要: 这是一个带有固有振动的可动部件的结构．此种机械刚性伺服控制装置通过主要部位的位移、速度和加速度检测出可动部分的动作，并将数值的运算结果反馈到伺服执行元件．该装置能够减少机械振动，提高执行位置指令的动作精度．