机器人  2017, Vol. 39 Issue (5): 595-602    DOI: 10.13973/j.cnki.robot.2017.0595
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基于压电薄膜驱动的微定位平台建模与分析
庞建伟, 闫鹏
山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室, 山东 济南 250061
Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage
PANG Jianwei, YAN Peng
Key Laboratory of High-efficiency and Clean Mechanical Manufacture, School of Mechanical Engineering, Shandong University, Jinan 250061, China
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