机器人  2011, Vol. 33 Issue (3): 366-370    
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基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作
迟鹏程1, 张卫平1, 陈文元1, 李洪谊2, 孟坤1, 崔峰1, 刘武1, 吴校生1
1. 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海 200030;
2. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁 沈阳 110016
Design and Fabrication of an SU-8 Biomimetic Flapping-wing Micro Air Vehicle by MEMS Technology
CHI Pengcheng1, ZHANG Weiping1, CHEN Wenyuan1, LI Hongyi2, MENG Kun1, CUI Feng1, LIU Wu1, WU Xiaosheng1
1. Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education, National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology, Research Institute of Nano/Micro Technology, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200030, China;
2. The State Key Laboratory of Robotics, Shenyang Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China
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