机器人
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纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究
丁晓辉1,2, 董再励1, 刘柱1, 魏阳杰1,2
1. 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁,沈阳,110016;
2. 中国科学院研究生院,北京,100049
Structure Mechanics Characteristics and Experiment of the Micro-motion Stage with Nanometer Resolution
DING Xiaohui1,2, DONG Zaili1, LIU Zhu1, WEI Yangjie1,2
1. State Key Laboratory of Robotics, Shenyang Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China;
2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
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