摘要: 电荷耦合器件（简称CCD），是一种新型的半导体器件．它是一种用电荷来表示不同状态的动态移位寄存器，其电荷信息（少数载流子）的转移是以外加电压在热弛豫期间产生的表面势阱的变化而实现的．其制造工艺仍采用MOS半导体光刻技术，制成表面沟道或埋沟道的CCD器件（P型或N型）．